[소부장 TF] ㉔ 뉴파워프라즈마, 반도체 클리닝 시스템 `으뜸`

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[소부장 TF] ㉔ 뉴파워프라즈마, 반도체 클리닝 시스템 '으뜸'

디지털데일리 발행일 2023-06-29 12:00:00

이건한 기자

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[소부장 미래] ⑹

서울시 강서구 마곡 뉴파워프라즈마 신기술센터 전경. [ⓒ 뉴파워프라즈마]

전 세계적으로 반도체와 디스플레이, 이차전지 등 제조분야의 산업적 가치가 중요해졌고, 그에 따라 소재·부품·장비(소부장)산업에 대한 관심도 어느 때보다 높아졌다. 하지만 미중 패권경쟁에 따른 아시아 지역의 변화와 유럽연합(EU)의 적극적인 공세로 인해 우리나라는 제품만 생산해내는 위탁국가로 전락할 우려가 크다. 해외 정세에도 흔들림 없는 K제조업을 실현하기 위해서는 물밑에서 구슬땀을 흘리는 소부장 강소기업 육성을 통한 경쟁력 제고가 무엇보다 중요하다.

<소부장 미래포럼>은 <소부장 TF>를 통해 이같은 현실을 직시하고 총체적 시각을 통해 우리나라 소부장의 과거를 살피고 현재를 점검하며 미래로 나아가기 위한 숙제를 되짚어보고자 한다. <편집자주>

[디지털데일리 이건한 기자] 뉴파워프라즈마는 반도체·디스플레이 제조 주요 단계인 박막·식각 공정에 필요한 클리닝 시스템을 중심으로 성장해 온 기업이다. 최근 3년 사이 매출이 크게 증가하고 영업이익과 현금창출이 안정적으로 이뤄지면서 중장기 성장 전망에도 기대가 실리고 있다.

1993년 설립된 뉴파워프라즈마는 1994년~1997년 트랜스 펫·디지털 방식 RF 제너레이터, 아날로그·디지털 오토 매쳐 등 반도체 공정장비 국산화를 시작으로 시장에서 두각을 드러내왔다. 국산화를 통한 수입대체 효과 극대화가 설립 배경이었다.

지속적인 R&D를 거쳐 2001년 정부의 유망선진기술기업으로 지정됐으며 2003년 미국 진출, 2014년 중국 법인을 설립하고 국내외 사업 기반을 지속 확대하는 중이다.

뉴파워프라즈마의 주요 사업군인 ‘클리닝 시스템’은 고밀도 플라즈마로 반도체 및 LCD 제조 공정 중 증착 후 챔버 내부에 쌓이는 부산물을 세정하는 RPG(Remote Plasma Generator) 장비가 중심이다.

최근 반도체 시장은 5나노 미만 미세공정 중심의 기술 경쟁이 갈수록 뜨거워지고 있다. 이때 제조 과정에서 미세회로를 보호하고 수율을 높이려면 공정 중 발생하는 작은 가루 등 불필요한 부산물의 효과적인 제거, 이를 예방정비하는 등의 과정의 중요도가 갈수록 높아지고 있다. 또한 박막 공정은 반도체 전체 생산 공정 중 20% 이상을 차지하는 만큼 전체 생산 라인이 커질수록 사용되는 챔버의 수도 많아져 클리닝 장비의 수요도 커진다.

삼성전자, SK하이닉스 등 국내 주요 대기업에 제품을 납품하는 뉴파워프라즈마의 클리닝 시스템 부문 매출은 최근 3년 사이 눈에 띄게 증가하고 있다. 2020년 523억원, 2021년 693억원, 2022년 820억원 등으로 회사의 성장성을 책임지고 있다.

또다른 주력 사업군인 RF 제너레이터(플라즈마 전원장치)는 박막형 태양전지, LCD 제조 전공정장비(CVD, Dry Etcher)에 공정 플라즈마를 형성할 수 있도록 공정 챔버에 고주파 전원을 공급하는 장치다. 상업용 교류전원을 고주파로 변환하며, 클리닝과 마찬가지로 반도체 미세공정화 및 3D 입체화 트렌드에 따라 다양한 주파수 사용이 요구되고 있다.

뉴파워프라즈마는 이 부분에서 수요 기업들이 필요로 하는 다양한 주파수 및 공급전원 맞춤 제품들을 다양하게 공급하며 매년 100억원~200억원 수준의 매출을 꾸준히 기록 중이다.

전체 연결 매출 또한 2020년 1087억원에서 2022년 3528억원으로 뛰었다. 2020년 인수한 방산업체 한국화이바의 매출이 더해진 효과다. 현재 한국화이바가 생산하는 제품군은 ▲전투기, 로켓 부품을 포함한 우주항공 분야 ▲유도 미사일 부품 ▲레이더 부품 ▲해군함정 부품 ▲장갑차 부품 등 다양하다.

다만 인수 후 한국화이바의 수익성 악화로 회사의 전체 이익은 다소 감소한 상황이지만, 대외적인 평가는 긍정적인 상황이다. 뉴파워프라즈마는 올해 3월 산업통산자원부가 선정한 ‘2023년 소부장 으뜸기업’ 3기 기업 23개사 중 하나로 선정됐다.

고밀도 플라즈마 처리 시스템을 응용한 반도체 전공정장비 세정과 증착·식각·배기 가스 등을 처리하는 기술과 제조 장비의 공정 성능 향상, 지구온난화 가스 저감 솔루션, 인공지능(AI) 시스템 기능화 등이 국가 산업 경쟁력 향상에 기여할 것으로 평가받았다. 또한 올해 상반기 서울 마곡지구에 신기술센터를 신설하고 우수 인재 영입 및 신기술 개발을 추진하며 사세 확장에 박차를 가하고 있다.