KLA, ‘5G·AI’ 반도체 공정 검사장비 선봬

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KLA, ‘5G·AI’ 반도체 공정 검사장비 선봬

디지털데일리 발행일 2020-02-26 16:38:19

김도현

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[디지털데일리 김도현기자] 반도체 장비업체 KLA가 제품군을 확대했다.

26일 5세대(5G) 이동통신, 인공지능(AI) 등에 사용되는 고성능 반도체 제조용 검사장비 ‘아처 750’ ‘스펙트라쉐이프 11K’을 공개했다.

KLA 관계자는 “첨단 칩에 새로운 구조와 신규 물질이 접목되면 반도체 업체들은 원자 단위에서 측정을 해야 하는 어려움이 있다”라며 “KLA는 해당 칩을 비용 효율적으로 생산될 수 있는 장비를 출시한다”고 설명했다.

아처 750은 반도체의 각 레이어에 그려진 패턴 형상이 이전 층의 형상과 제대로 정렬이 되는지 검사하는 장비다. D램과 3차원(3D) 낸드 소자의 수율 개선을 위해 인라인에서 공장 이탈점을 파악한다. 패터닝 완성도를 높이는 작업도 지원한다.

스펙트라쉐이프 11K는 트랜지스터와 메모리 셀 등의 3D 구조를 모니터링, 스펙이 유지되도록 한다. D램과 3D 낸드 소자 형상을 고정밀도와 높은 속도로 측정할 수 있다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr