[디지털데일리 신현석기자] 반도체·LCD(액정표시장치) 장비 부품업체 미코(대표 최성학)가 글로벌 메이저 반도체 장비업체와 AlN(질화알루미늄) 세라믹 히터 관련 수주 논의를 진행 중이라고 밝혀 주목된다. 기업에 맞게 커스터마이징하기 위한 테스트 단계를 밟고 있다.

미코는 5일, 서울 여의도 금융투자교육원에서 열린 IR(기업설명회)를 통해 올해 1분기 실적 및 사업 추진 현황을 소개했다.

이날 회사 관계자는 “현재 글로벌 메이저 업체와 AlN 세라믹 히터 비즈니스 관련 논의를 하면서 사업화를 진행하고 있다. 내년 정도쯤 되면 가시화될 것이며 성공적으로 수주하게 되면 한 번 더 점프업할 수 있을 것”이라고 말했다.

여기에서 ‘사업화’란 제품 의뢰를 한 기업이 원하는 제품 콘셉트를 토대로 프로토타입을 만들어 양사가 이를 반복 테스트하는 작업 과정을 뜻한다. 즉, 완성품을 공급하는 것이 아닌 기업에 맞게 커스터마이징하는 과정으로 진행되기에 테스트 과정에서 논의가 더는 진전되지 못할 가능성도 있다.

다만, 미코는 작년부터 AlN 세라믹 히터 시장에서 자사를 찾는 기업이 많이 늘어 올해 최대 실적을 달성할 가능성이 크다고 자신했다. 이는 AlN 세라믹 히터 시장이 한 일본업체가 독점에 가까운 점유율을 가진 형태인 것과도 관련돼 있다.

회사 관계자는 “독점에 가까운 점유율을 가진 일본업체 외에 우리만 시장에서 제품을 공급하고 있다”며 “수요는 늘어나는데 공급이 안 늘어나는 상태이기 때문에 매우 많은 업체가 공급처를 찾고 있으며, 특별히 작년부터 우리에게 기회가 오고 있다”고 강조했다.

아울러 회사는 후공정 히터 사업 부문에서도 다양한 고객사를 확보하기 위해 일본 후공정 장비업체와 국내 업체 등과 사업화를 추진하고 있다고 밝혔다.

◆ 칩 메이커 공정 미세화·고단화…주력제품 수요 증가 기대 = 미코의 연결 자회사로는 반도체·LCD 장비 부품 세정사업을 영위하는 코미코가 있다. 연결회사였던 분자진단기기 업체 미코바이오메드가 2017년 11월 나노바이오시스에 흡수 합병되면서 올해부터는 실적에서 제외됐다.

회사는 반도체 칩 메이커들의 공정이 미세화, 고단화되면서 증착(Deposition), 식각(Etching) 공정 수요도 증가해 주력제품 수요가 함께 늘어갈 것으로 기대하고 있다. 회사의 주력 제품은 증착 장비(CVD)용 고기능성 세라믹 히터, 식각장비(Ethcer)용 고기능성 세라믹 정전척(ESC), 기타 세라믹 소재 일반 소모품 등이다.

회사는 올해 연결기준 매출액과 영업이익 목표치를 각각 2225억원, 378억원으로 잡았다. 작년보다 각각 21%, 30% 오른 수치다. 올해 별도기준 매출액과 영업이익 목표액은 각각 920억원, 82억원으로 세웠다. 전년보다 각각 29%, 28% 오른 수치다. 작년 별도기준 매출액과 영업이익은 각각 711억원, 63억원이었다.

올해 1분기 실적은 연결기준 539억원, 별도기준 196억원이다. 회사 측은 올해 1분기 고객사 다변화에 따른 반도체 공정 장비용 세라믹 소재부품 매출이 증가했다고 설명하고 있다. 매출액은 전년 동기 대비 34억원 증가했으나, 판매·관리비도 같이 늘어나 영업이익은 매출만큼 성장하지 못했다. 올해 1분기 매출액, 판매·관리비, 영업이익은 각각 196억원, 55억원, 16억원이며, 작년 1분기 매출액, 판매·관리비, 영업이익은 각각 162억원, 41억원, 15억원이었다.

회사 관계자는 “영업이익율이 크게 오르지 못한 이유는 진행 중인 고객 다변화 작업과 히터 관련 신규 개발 진행비 등을 위해 작년 초부터 꾸준히 개발 인력을 충원해왔기 때문”이라고 설명했다. 특히 판매·관리비 항목의 경상연구개발비가 작년 1분기 14억원에서 올해 1분기 25억원으로 늘었다.

회사의 사업은 크게 반도체와 비반도체 부문 2가지로 나뉘는데, 반도체 사업 부문 매출은 전체 매출의 약 85% 정도를 차지한다.

AlN 세라믹 히터 매출은 주로 원익IPS향으로 발생한다. 회사는 2012년 국내 최초로 반도체 박막 공정용 300mm AlN 세라믹 히터를 개발하고 상용화하는 데 성공한 바 있다. 회사는 AlN 세라믹 히터 부문에서 전공정용 히터와 후공정용 히터를 모두 공급한다. 올해 1분기 73억원 매출 중 74%(54억원)가 원익IPS향 매출이었다. 작년 히터 매출은 280억원이었으며, 올해 회사는 히터 매출이 400억원에 이를 것으로 예상하고 있다.

현재 AlN 세라믹 히터 시장에서는 미코와 일본업체, 두 회사만 제품을 공급한다. 회사 관계자는 “일본업체와 우리 회사만이 양산할 수 있는 레퍼런스를 보유하고 있다”며 “현재 시장은 일본사가 거의 독점하다시피한 모습의 과점 형태다. 기타 다른 회사들이 거의 모두 일본업체 것을 구입하고 있으나, 원익IPS만은 우리 것을 구입하고 있다”고 말했다.

이어 “2000년대 삼성전자에서 우리에게 개발 의뢰가 들어왔고 우리가 2000년대 개발을 완료했다. 소모성 제품인데다 대당 억대인 제품이다 보니 공급 자체가 원활하지 않았기 때문”이라고 덧붙였다.

올해 1분기 히터 매출의 20%(15억원)는 네덜란드 반도체 장비 기업 ASM향 매출이며, 나머지 기타 매출 비중은 6%(4억원)다. 기타 매출에 대해 회사 관계자는 “기타 부분은 삼성전자와 SK하이닉스의 개발 쪽에 들어가는 부분도 있다”고 말했다.

특히 회사는 후공정용 히터 부문을 차세대 먹거리 사업으로 키우고 있다. 회사 관계자는 “한미반도체가 SK하이닉스에 납품한 TSV(실리콘관통전극) 장비에 우리 제품이 채택됐다. 후공정 히터는 상부 히터, 하부 히터 두 가지가 존재하는데 현재 1분기에는 하부 히터만 채택됐다. 상부 히터는 1분기에는 반영되지 않았고, 올해 하반기나 내년 상반기에 추가 발주된다면, 상부히터까지 납품할 것으로 본다”고 말했다.

이어 관계자는 “삼성전자와 SK하이닉스도 이 공정 자체를 굉장히 활성화시키려 하고 있다. 갤럭시S9 카메라에 들어가는 디램이나, TSV 공정에 많이 활용되려고 하는 상황”이라며 “여기에 들어가는 후공정 장비 관련 히터는 현재 국내에서 한미반도체에 원활하게 공급하고 있으며, 해외 업체로는 ASM 등에 공급한다”고 설명했다.

ESC 부문 매출은 연도별 매출 변화가 거의 없다. 2015년, 2016년, 2017년 ESC 매출은 각각 52억원, 52억원, 46억원이었다. 올해 회사는 이 부문 매출 목표를 57억원으로 잡고 있다.

올해 1분기 실적에서 주목할 부분은 매트리얼 파츠(Material Parts)와 파우더(Powder) 부문 매출이 전년 동기 대비 큰 폭의 성장세를 보였다는 점이다. 올해 1분기 매트리얼 파츠와 파우더 부문 매출은 전년 동기 대비 각각 25%(49억원), 13%(25억원) 올랐다. 회사 측은 챔버(Chamber) 조건 변화 및 계열사 코미코의 코팅 매출 증대 영향으로 각각 세라믹 파츠와 파우더 수요가 증가했다고 설명했다.

회사는 올해 매트리얼 파츠와 파우더 매출이 각각 200억원, 85억원이 될 것으로 예상하고 있다. 매트리얼 파츠의 2016년, 2017년 매출은 각각 116억원, 164억원이었으며, 올해 1분기 고객사별 매출 비중은 삼성전자 22%(11억원), 자회사 코미코 19%(9억원)다. 코미코향은 회사가 직접 해외 에이전트와 거래한 경우가 아니라 자회사(코미코) 현지법인이 TSMC, 인텔, 마이크론, 글로벌 파운드리 등 기업과 수주한 매출이다. 이 외 국내에 OEM(주문자 상표부착 생산) 방식으로 공급한 매출은 55%(27억원)다.

파우더의 2016년, 2017년 매출은 각각 41억원, 79억원이다. 올해 1분기 파우더 매출의 100%는 자회사 코미코향 매출이었다. 이 경우엔 실제 자회사(코미코)로 공급된 매출로, 코미코는 미코의 파우더를 공급받아 반도체 제조장비 부품을 코팅하는 데 사용한다.

이 외, 회사는 비반도체 부문 사업으로 하부전극 사업, 의료기기용 부품 사업, SOFC(Solid Oxide Fuel Cell, 고체산화물 연료전지) 사업 등도 영위한다. 특히, 회사는 2009년부터 연구개발해온 SOFC 관련 제품 인증을 올해 안에 획득하고 내년 상용화를 진행할 계획이다.

<신현석 기자>shs11@ddaily.co.kr

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