나노종기원, 포토레지스트·전고체전지 개발 지원

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나노종기원, 포토레지스트·전고체전지 개발 지원

디지털데일리 발행일 2023-06-14 11:06:09

김도현 기자

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나노·반도체 지원 성과보고회 개최

[디지털데일리 김도현 기자] 나노종합기술원이 과학기술정보통신부 지원을 받아 수행한 출연사업에 대한 ‘나노·반도체 지원 성과보고회’를 개최한다고 14일 전했다.

이날 서울 강남구 엘타워에서 열리는 행사는 나노종기원이 국내 반도체 소부장 중소·중견 기업과 공동개발을 통한 실용화 성과와 추진계획을 공유하기 위해 마련됐다. 나종기원은 반도체 테스트베드 활성화를 위한 공공팹 운영 컨설팅 지원과 12인치(300mm) 반도체 장비 이전에 도움을 준 삼성전자 디바이스솔루션(DS)부문 상생협력센터에는 감사패를 수여하기도 한다.

보고회는 차세대지능형반도체사업단 김형준 단장 기조연설을 시작으로 중점사업 소개 및 성과, 참여기업 공동 개발결과 및 실용화 성과, 동반성장 업무협약 및 상생협력 시상 순으로 진행된다.

나노종기원은 반도체 테스트베드를 활용한 기술 실용화 지원을 위한 주요사업인 ▲테스트베드 소재부품장비 공동기술개발 사업 ▲나노 오픈 이노베이션 랩 협력사업 ▲반도체 공정기반 나노메디컬 디바이스 개발 사업 등에 대해 소개한다.

공동개발 기업 SK머티리얼즈퍼포먼스는 12인치 반도체 테스트베드를 활용한 불화아르곤 이머저(ArFi) 포토레지스트(감광제), 앨로힘은 고용량 초소형 실리콘 캐퍼시터, 케이런은 반도체 공정 기술 활용한 유전자 전달 나노입자 제조 시스템 등 성과를 발표한다.

아울러 나노종기원은 반도체-마이크로 전고체 배터리 플랫폼 개발사업 추진계획도 이야기한다. 미래 배터리 초격차 기술 확보를 위해 과기정통부 지원(2023~2027년)을 받아 8인치(200mm) 반도체 공정 기반 전고체 배터리 플랫폼 기술개발에 나설 예정이다.

4개 기업과의 동반성장을 위한 업무협약(MOU), 우수 연구성과 및 우수 협력사에 대한 시상 등도 진행된다.

박흥수 나노종기원 원장은 “국가 핵심 나노인프라로 원천기술 연구개발 지원과 연구성과의 상용화를 지원하는 서비스 프로바이더 역할을 강화해 나갈 것”이라며 “반도체, 첨단바이오 등 국가 전략기술 경쟁력 확보를 위한 핵심 거점기관으로 발돋움하기 위해 산학연 고객의 다양한 의견을 반영해 나갈 계획”이라고 밝혔다.