반도체 한계돌파 자청한 ‘인테그리스’…재료 시대의 첨병

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반도체 한계돌파 자청한 ‘인테그리스’…재료 시대의 첨병

디지털데일리 발행일 2018-04-09 18:02:53

이수환

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[디지털데일리 이수환기자] 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 지난 2016년 전 세계 반도체 재료 시장은 전년인 2015년과 비교해 2.4% 증가했다고 밝혔다. 같은 기간 동안 반도체 시장이 1.1% 성장한 것의 두 배 이상이다. D램, 낸드플래시 등 메모리 반도체 중심의 호황이 본격적으로 반영되기 직전이었다는 점을 고려하면 2017년 시장 규모는 500억달러(약 53조3600억원)에 육박할 전망이다.

단순히 시장이 좋아서 반도체 재료가 함께 뜨는 것일 수 있으나 속사정은 조금 다르다. 미세공정 한계를 돌파하기 위해 재료의 종류 자체가 상당히 많이 늘어났고 초기 수율을 통제하기 위해 디펙(Defect·결함) 예방과 제어가 필수적이다. 이는 장비 자체의 교체와 조정, 레시피(재료의 혼합 성분)로 수율을 조절하는 것에서 벗어나 재료 자체에 대한 이해, 소모품 교체주기 등을 철저하게 고려해야 한다는 의미다.

반도체 재료 공급 전반과 오염제어, 공정 솔루션 등을 제공하고 있는 인테그리스가 주목받는 이유는 어쩌면 당연한 일이다. 닐 리처드 특수 케미컬 및 공학재료(SCEM) 부문 부사장<사진 위>을 비롯해 조 스위니 특수가스 부문 부사장, 스티브 비숍 시니어 디렉터 등 주요 임원진과 인테그리스의 특수화학물질 공급망 전략과 기술을 들어봤다. 아래는 일문일답.

- 반도체 재료 공급망과 관련해 국내 고객사와 어떤 협의가 이뤄지나?

▲<닐 리처드 부사장> 대한민국, 해외에서 생산 가능한 것을 나눠서 파악한다. 어디에 투자해야 하는지와 (고객사와) 함께 투자할 수 있는지 등을 검토한다. 이 분야는 규제가 많아서 협력이 필수적이다. 적절한 균형을 찾아야 한다.

<스티브 비숍 시니어 디렉터> 고객사가 시설에 와서 자주 실사와 점검 작업을 한다. 고객에 대해서는 사업장은 언제나 투명하고 열려있다. 외국에서 재료가 들어오는 과정 자체가 오염의 원인이 될 수 있다. 고객사는 한시라도 빨리 (재료를) 사용하기를 원하므로 품질이 허락하는 한도 내에서 검증이 이뤄질 수 있도록 하고 있다.

- 장비 업계도 재료를 함께 공급, 차별화를 꾀한다고 주장한다.

▲<스티브 비숍 시니어 디렉터> 물론 장비 업체도 재료를 같이 공급하려고 하지만 매번 성공하지는 못한다. 그들과 경쟁하기보다는 협력하는 경우가 많다. 공동으로 장비&재료를 개발하고 파트너십을 가지고 있다.

- 반도체 재료 관리에 대해 우려감이 있다.

▲<닐 리처드 부사장> 우리가 가장 잘 할 수 있는 분야(안전)다. 인테그리스는 글로벌 환경 보건 안전(HES) 원칙을 바탕으로 직원과 고객 모두에 건강한 작업 공간을 제공하고 있다. 제품이 고객의 현장까지 안전하게 이송될 수 있도록 보장하고 만일의 사태에 대비한 특수용기(SDS 시리즈, 실린더가 깨지더라도 외부로 재료가 흘러나가지 않음) 등을 모두 제공하고 있다.

- 기체를 흡착시켜 고체로 만든 특수용기는 비싸다. 비용 상승의 원인이 되지 않나?

▲<조 스위니 부사장> 흡착식 가스 실린더는 1990년대 중반에 나왔을 정도로 역사가 길다. 지금은 2005년에 선보인 SDS3가 있다. 고객사 반응도 좋고 200곳이 넘는 반도체 업체에 판매했다. 안전 문제가 발생하면 이로 인한 피해가 더 크기 때문에 (고객사는) 오히려 SDS로 비용을 줄일 수 있다.

- 극자외선(Extreme Ultra Violet, EUV) 노광을 위한 재료도 선보인 것으로 안다.

▲<스티브 비숍 시니어 디렉터> EUV는 일부 장비와 재료를 덜 쓴다. 하지만 특수가스를 사용하는 공정이 추가되어서 전반적으로 큰 변화는 없다. 최근 고객사는 정제기와 여과기를 자주 바꾸는 프로그램 등을 도입하고 있다. 오염도를 낮게 유지, 장비를 추가하거나 레시피를 바꾸는 것에서 예방 차원의 전략으로 이동하고 있다.

- 연구개발 비용이 전사 매출의 10% 정도로 알고 있다.

▲<닐 리처드 부사장> 지난해 8%, 2016년 9%, 2015년 10%였다. 매출이 늘어났기 때문에 연구개발에 투자하는 비중은 줄었으나 금액 자체는 더 늘어났다. 인테그리스는 반도체 공정과 관련된 모든 서비스를 제공하고자 한다. 특수가스만 하더라도 새로운 조합을 찾아내 오염을 줄이는 방안이 마련되어 있다.

<이수환 기자>shulee@ddaily.co.kr