[소부장 TF] ㊱ 제우스, 반도체 세정장비·로봇 `탈일본` 이끈다

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[소부장 TF] ㊱ 제우스, 반도체 세정장비·로봇 '탈일본' 이끈다

디지털데일리 발행일 2023-07-01 11:25:28

김도현 기자

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[으뜸 소부장] ⑾

전 세계적으로 반도체와 디스플레이, 이차전지 등 제조 분야의 산업적 가치가 중요해졌고, 그에 따라 소재·부품·장비(소부장)산업에 대한 관심도 어느 때보다 높아졌다. 하지만 미중 패권경쟁에 따른 아시아 지역의 변화와 유럽연합(EU)의 적극적인 공세로 인해 우리나라는 제품만 생산해내는 위탁국가로 전락할 우려가 크다. 해외 정세에도 흔들림 없는 K제조업을 실현하기 위해서는 물밑에서 구슬땀을 흘리는 소부장 강소기업 육성을 통한 경쟁력 제고가 무엇보다 중요하다.

<소부장 미래포럼>은 <소부장 TF>를 통해 이같은 현실을 직시하고 총체적 시각을 통해 우리나라 소부장의 과거를 살피고 현재를 점검하며 미래로 나아가기 위한 숙제를 되짚어보고자 한다. <편집자주>

[디지털데일리 김도현 기자] 지난 3월 ‘소부장 으뜸기업’으로 선정된 제우스가 반도체 설비, 로봇 등 주력 사업에 속도를 낸다.

해당 사업은 소부장 100대 핵심전략기술 분야에서 국내 최고 역량과 미래 성장 가능성을 보유한 기업을 발굴, 글로벌 기업으로 육성하기 위해 마련됐다. 산업통상자원부는 5년간 맞춤형 지원 프로그램을 진행한다. 대상 기업에 R&D 비용 최대 250억원, 기업 부담금 완화, 공공기관 테스트베드 활용 실증 평가 등이 제공된다.

제우스는 반도체 세정장비 분야에서 인정받았다. 제우스는 습식 기술을 활용하는데 세정액에 반도체 웨이퍼를 담가 불순물을 제거하는 방식이다.

세정장비는 한 장씩 처리하는 ‘싱글형’ 한 번에 20~50장 처리하는 ‘배치형’으로 나뉜다. 싱글의 경우 제우스 외에 다른 국내 기업도 생산 중이나 배치는 일본이 주도하고 있다. 제우스는 도쿄일렉트론(TEL) 등 일제 기업 틈바구니에서 싱글과 배치 제품 모두 개발 및 생산하는 회사로 거듭났다.

이러한 배경에는 지난 2009년 일본 JET 인수가 있다. 지난 2020년 JET를 통해 배치형 세정장비 관련 법인을 세우고 생산라인을 구축하면서 삼성전자, SK하이닉스 등에 납품하게 됐다. 참고로 JET는 한국의 코넥스(중소벤처기업 주식시장) 격인 일본 도쿄프로마켓에 2018년 상장하기도 했다.

업계에 따르면 20나노미터(nm) 이하 공정에서는 세정 절차가 200회 이상 필요하다. 기존 전통(레거시) 공정 대비 2배 이상 늘어난 수치다. 첨단 반도체 비중이 확대됨에 따라 제우스의 세정장비 수요도 증가할 전망이다.

고온황산장비(HTS)도 제우스의 신무기다. HTS 역시 세정장비지만 다소 차이가 있다. 기성장비가 화학품 간 발열반응을 통해 웨이퍼 온도를 높였다면 HTS는 플레이트를 가열하는 방식으로 처리한다. 이렇게 되면 화학품 사용량을 대폭 줄일 수 있다. 기존 대비 30%만 사용하고도 같은 효과를 낼 수 있다. 재료비 절감 등의 이점이 있다.

다음 먹거리로는 로봇을 낙점했다. 지난 2019년 산업용 로봇 ‘제로’를 출시한 것이 시발점이다. 이 제품은 6축 관절 소형 로봇이다. 이후 수평다관절 로봇 ‘스카라’, 병렬형 로봇 ‘델타로’ 등도 선보였다.

현재 제우스 로봇은 반도체, 바이오, 화장품 등 산업에 활용되고 있다. 2021년에는 기준 표준인 일본 브랜드를 제치고 국내 주요 생산 시설에 적용되는 쾌거를 이뤄내기도 했다. 신시장 개척을 본격화한 만큼 성장세가 이어질 가능성이 크다.

한편 제우스는 지난 1970년 세워진 업체다. 설립자 이동악 회장이 상사로 시작했고 1981년 장비 사업을 시작했다. 현재는 장남 이종우 대표가 회사를 이끌고 있다. 그는 미국 마그마·케이던스 등에서 재직했고 2005년부터 제우스에 합류했다. 2011년 대표로 취임했다. 이 대표는 반도체·디스플레이는 물론 태양전지·로봇 등으로 사업영역을 넓혀가고 있다.

제우스는 올해 1분기 매출액 970억원, 영업이익 3억원으로 다소 부진했다. 경기침체로 반도체 등 전방산업이 부진한 탓이다. 하반기부터 업황이 개선되면서 세정장비, 로봇 등 판매가 늘어날 것으로 예상된다.