네덜란드 ASM, `韓에서만 제조` 반도체 장비 생산량 늘린다…1억달러 투자 [소부장반차장]

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네덜란드 ASM, '韓에서만 제조' 반도체 장비 생산량 늘린다…1억달러 투자 [소부장반차장]

디지털데일리 발행일 2023-05-23 14:29:34

김도현 기자

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기자간담회에서 회사 소개하는 벤자민 로 ASM CEO

벤자민 로 CEO, 국내 첫 기자간담회

24일 경기 화성 제2제조연구혁신센터 기공식

[디지털데일리 김도현 기자] 네덜란드 반도체 장비업체 ASM이 한국 투자를 확대한다. 삼성전자, SK하이닉스 등과 협력 강화는 물론 첨단 반도체 수요 대응 차원이다.

23일 ASM은 서울 강남구 조선 팰리스에서 기자간담회를 열고 국내 사업 전략 및 계획 등을 공유했다. 극자외선(EUV) 노광기를 독점하는 네덜란드 ASML 모태인 ASM은 반도체 소자를 구동하기 위해 웨이퍼 위에 박막을 형성하는 ‘증착’ 공정 설비가 주력이다.

이날 벤자민 로 ASM 최고경영자(CEO)는 “ASM은 50년 이상 역사를 가진 회사다. 1989년 처음 한국에 진출했고 1995년 현지 법인(ASMK)을 세우고 지금까지 이어오고 있다”며 “지난 2월 산업통상자원부와 1억달러(약 1300억원) 투자 업무협약(MOU)을 맺었다. 앞으로 한국에서 사업을 계속 확장할 것”이라고 밝혔다.

산업부와 MOU를 통해 ASM은 경기 화성에 제2제조연구혁신센터를 짓기로 했다. 2025년 완공 예정으로 이달 24일 기공식을 연다. 해당 센터는 연구 및 제품 개발 인프라를 강화하고 생산역량을 증대시키기 위해 마련된다. 현재 ASM 소속 국내 인력은 460명 수준인데 향후 4~5년간 200명 정도 추가 채용이 이뤄질 것으로 예상된다.

로 CEO는 “2019년에 첫 번째 센터를 세웠다. 신규 센터는 기존 대비 약 50% 넓다. 증설을 통해 R&D와 생산면적이 각각 2배, 3배 확대된다”고 설명했다.

이창양 산업부 장관(왼쪽)과 벤자민 로 ASM CEO [사진=산업통상자원부]

이번 투자 핵심은 ‘플라즈마원자층증착(PEALD)’ 장비다. 이 제품은 원자층 두께로 매우 얇은 박막을 만들 수 있게 해준다. D램 패터닝 공정에 주로 쓰이다가 시스템반도체로도 영역이 확장되고 있다.

로 CEO는 “PEALD 장비는 한국에서만 연구와 생산을 진행한다. 새로운 센터 역시 PEALD 특화 시설”이라며 “PEALD 기술은 메모리뿐만 아니라 로직에서도 사용되고 있다. 수년 동안 수요가 지속 늘어날 전망”이라고 이야기했다.

ASM은 한국을 핵심 시장으로 보고 추후 투자를 이어갈 방침이다. 국내 기업들도 ASM의 생산능력 증대를 원하는 것으로 전해진다.

로 CEO는 “(삼성전자, SK하이닉스 등) 대형 고객과 긴밀히 협업하면서 반도체 산업이 발전할 수 있도록 노력할 것”이라며 “ASM은 한국 반도체 생태계 일부다. 안정적인 장비 공급, 지역사회 일자리 창출 등 역할을 할 것”이라고 강조했다.

한편 ASM은 중국 사업을 지속하겠다는 의지를 드러냈다. 로 CEO는 “미국 정부에서 지난해 10월 규제 발표를 했다. 최첨단 장비에만 적용되는 것으로 안다. 일반 소비자 제품용 설비는 타격을 받지 않는다”며 “미국은 물론 다른 나라에서도 규제를 준수하면서 고객과 협력을 계속할 것이다. 중국 비즈니스도 마찬가지”라고 전했다.