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머크, 세미콘코리아 참가… 반도체 제조용 특수 화학소재 소개

[디지털데일리 한주엽기자] 독일 화학 제약 업체인 머크는 반도체 제조기술전시회인 세미콘코리아 2015에 참가해 고급, 고순도 특수 화학소재를 전시했다고 5일 밝혔다. 세미콘코리아는 4일부터 6일까지 서울 코엑스에서 열린다.

머크는 작년 5월 AZ일렉트로닉머티리얼즈를 인수해 기능성 소재 사업부 내 집적 회로 사업부문으로 통합한 바 있다. AZ는 반도체 및 평판디스플레이 제조에 필요한 포토레지스트 및 절연재료(193-nm, 딥-UV, i-라인, g-라인, 크로스오버, 브로드밴드, 후막필름)를 개발, 제조, 판매하고 있다. 또한 관련 반사방지막, 패턴 축소(shrink) 재료, 특수 패턴 넘어짐 방지 세정제, 박리액, 현상액 등을 다룬다.

행사 첫날 한국머크 미하엘 그룬트 대표는 리코 비덴브루흐 본사 기능성 소재 사업부 집적 회로 사업부문 대표와 함께 행사장을 방문해 머크 부스 등을 둘러봤다. 그룬트 대표는 “머크의 기능성 소재 사업부 역량을 활용하면 집적 회로 사업 부문이 한국 전자산업에서 더욱 성장할 수 있을 것”이라고 기대했다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr

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