자이스코리아, ‘세미콘 코리아’ 참가…EUV 기술 선봬

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자이스코리아, ‘세미콘 코리아’ 참가…EUV 기술 선봬

디지털데일리 발행일 2023-01-29 13:22:08

김도현

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- EUV 포토마스크 솔루션 등 공개
- 인재 확보 프로그램도 진행

[디지털데일리 김도현 기자] 독일 자이스(ZEISS)의 한국법인 자이스코리아가 오는 2월1일부터 3일까지 열리는 ‘세미콘 코리아 2023’에 참가한다고 29일 밝혔다.

세미콘 코리아는 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최하는 글로벌 반도체 산업 전시회다. 매년 반도체 산업 성장과 최신 반도체 제조 기술 등을 확인할 수 있는 자리다.

자이스는 설립자인 칼 자이스의 현미경부터 시작된 176년 역사를 가진 독일 대표 광학 기업이다. 반도체 분야에서 주목을 받는 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 노광 설비 핵심 부품인 EUV 광학렌즈 모듈 및 다양한 솔루션을 보유하고 있다.

이번 전시회에서 자이스코리아는 반도체 마스크 사업부(SMS)의 EUV 기술에 활용되는 포토마스크 솔루션으로 액티닉 마스크 측정시스템인 ‘AIMS(Aerial Imaging Measurement System) EUV’, 반도체 프로세스 컨트롤 사업부(PCS)의 ‘3D 단층촬영(Tomography) 계측장비’ 등을 선보인다.

AIMS EUV는 입증된 영역 이미지(Aerial Image) 기술을 사용해 EUV 포토마스크를 검증하고 EUV 자동분석 소프트웨어 패키지를 지원해 이미지 분석 및 데이터 처리 자동화의 성능 개선을 돕는다.

3D 단층촬영 계측장비는 집속 이온 빔(FIB)으로 제작한 각각 단층을 주사전자 현미경(SEM)으로 이미징한다. 이를 3차원으로 재조합하고 재조합한 이미지로부터 반도체 패턴 나노미터(nm) 정확도 샘플링, 분석, 측정 및 검증을 지원한다.

정현석 자이스코리아 대표는 “한국에서 열리는 가장 큰 반도체 행사에서 자이스의 최신 기술들을 선보일 수 있어서 기쁘다”라며 “이를 통해 한국의 다양한 고객사와 더욱 돈독한 파트너십을 구축할 것”이라고 말했다.

한편 자이스코리아는 현장에서 인재 채용을 위한 활동도 병행한다. 부스(D530)에서 HR팀과 현업 엔지니어가 함께 자이스코리아에서 엔지니어로 성장할 기회와 2023년도 채용에 대한 정보를 제공할 예정이다. 부스에 방문한 학생들을 대상으로 경기 동탄에 위치한 ‘자이스 이노베이션 센터’에서 캠퍼스 투어도 실시한다.