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자이스, ‘세미콘코리아 2022’ 참가…광학 기술 선봬

디지털데일리 발행일 2022-01-26 09:53:09
김도현

- EUV 독점 ASML 협력사

[디지털데일리 김도현 기자] 독일 광학 및 광전자 기업 자이스가 ‘세미콘 코리아 2022’에 참가한다고 26일 밝혔다.

해당 행사는 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최하는 반도체 전시회다. 2020년과 2021년 코로나19로 열리지 못했으나 올해는 온·오프라인 동시 진행된다. 국내외 450여개 반도체 기업이 참여할 예정이다.

자이스는 삼성전자 SK하이닉스 등 국내 업체와 협력하고 있다. 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 장비 렌즈를 공급하는 것으로 주목받기도 했다.

이번에 자이스는 EUV 기술을 적용한 포토마스크 솔루션 ‘AIMS EUV 3.0’ 장비와 EUV 포토마스크 리페어 및 튜닝 장비 등을 선보인다. 현미경을 활용한 다이레벨 및 패키징 불량 감지 솔루션 등도 소개할 계획이다.

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