- 동진쎄미켐·영창케미칼 등 R&D 활발
[디지털데일리 김도현 기자] 일본 수출규제 3대 품목의 내재화에 속도가 붙었다. 불화수소와 폴리이미드 대비 취약했던 포토레지스트(PR) 분야 성과가 눈에 띈다. 여전히 일본 의존도가 높지만 국산 비중이 확대되는 분위기다.
10일 업계에 따르면 영창케미칼은 불화아르곤 이머전(ArFi) PR을 개발 중이다. 연내 양산 평가가 이뤄질 전망이다.
PR은 반도체 노광 공정 핵심 소재다. 실리콘웨이퍼에 PR을 바르고 회로가 새겨진 포토마스크를 올려 빛을 쬐면 패턴이 형성된다. 크게 ▲불화크립톤(KrF·248nm) ▲불화아르곤(ArF·193nm) ▲극자외선(EUV·13.5nm)용으로 나뉜다. ArF의 경우 공기를 활용한 드라이와 액체를 사용하는 이머전 방식으로 나뉜다.
그동안 PR 시장은 일본 기업이 장악해왔다. 도쿄오카공업(TOK) 스미토모화학 JSR 등이 시장점유율 90% 이상을 차지했다. 수출규제 이후 국산화 필요성이 부각하면서 삼성전자와 SK하이닉스 등은 국내 협력사와 협업 빈도를 늘리고 있다.
영창케미칼은 ArF 드라이 PR 개발을 끝낸 상태로 다음 단계인 이머전 제품을 준비 중이다. 반도체 테스트베드를 구축한 나노종합기술원과 협업을 통해 이르면 내년 상용화에 나설 계획이다.
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