韓, EUV용 포토레지스트 우회로 막히나…日 JSR, 美 인프리아 인수

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韓, EUV용 포토레지스트 우회로 막히나…日 JSR, 美 인프리아 인수

디지털데일리 발행일 2021-09-17 11:17:38

김도현

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- 삼성 SK 인텔 TSMC 등 인프리아 투자

[디지털데일리 김도현 기자] 일본의 극자외선(EUV) 포토레지스트(PR) 지배력이 더 커질 전망이다. 일본 기업이 대안으로 꼽힌 미국 스타트업을 인수한 영향이다. 일본 수출규제 이후 미국 벨기에 등 우회경로를 마련해온 국내 업계에는 부정적이다.

17일 일본 JSR은 미국 인프리아를 인수한다고 밝혔다. 지난 2017년 지분 21%를 취득한 데 이어 나머지 79%를 확보하기로 했다.

인프리아는 지난 2007년 미국 오리건주립대학교 화학연구소에서 분사해 만들어진 회사다. PR 개발업체로 JSR을 비롯해 삼성벤처투자 SK하이닉스 인텔캐피탈 어플라이드머티어리얼즈 TSMC 도쿄오카공업(TOK) 등이 투자했다. 삼성의 경우 2014년 2017년 2020년 세 차례 시리즈 펀딩에 모두 참여했다.

인프리아의 주력 PR은 감광제라 불리는 노광공정 재료다. 반도체 웨이퍼에 PR을 도포하고 포토마스크에 그려진 대로 빛을 쬐면 회로 패턴이 새겨진다. 주요 반도체 제조사에서 활용도가 높아진 EUV는 기존 불화아르곤(ArF)과 성질이 달라 전용 PR이 필요하다. EUV용 PR은 고난도 기술력을 요구해 JSR TOK 신에츠화학 등 일본 업체가 독점해왔다.

관련 분야에서 인프리아는 일본 의존도를 낮춰줄 카드로 꼽혀왔다. 인프리아 제품은 금속 산화물 기반으로 무기물이다. 기존 유기물 PR보다 빛 흡수율이 4배 이상 높다는 평가다. 빛 흡수가 잘 되면 미세 회로 패턴을 새기는 데 유리하다. 최근 삼성전자는 인프리아 EUV PR을 생산라인에 투입하기로 했다. 5나노미터(nm) 등 선단공정에 활용될 가능성이 크다.

다만 JSR이 인프리아를 품으면서 탈(脫)일본 작업에는 차질을 빚을 전망이다. 한국무역협회에 따르면 올해 상반기 EUV PR의 일본 수입 비중은 85% 이상이다. 전년동기대비 3%포인트 정도 줄었으나 여전히 압도적이다. 이번 계약으로 우회로 하나가 일본에 막힌 셈이다.

미국 듀폰과 국내 동진쎄미켐 영창케미칼 SK머티리얼즈 삼성SDI 등도 EUV PR 개발을 착수했으나 시간이 더 필요하다는 의견이 나온다. 일본 후지필름과 스미토모화학이 연내 EUV PR 양산에 돌입하는 것으로 알려져 일본 비중 확대가 불가피한 상태다.

반도체 업계 관계자는 “시스템반도체에 이어 D램에도 EUV가 적용되면서 장비는 물론 소재 생태계의 중요성은 더욱 커지고 있다”며 “EUV PR 사용량이 지속 늘어나는 상황에서 일본 지배력이 커지는 건 긍정적인 신호라고 볼 수 없을 것”이라고 분석했다.