日 반도체 기업 또 한국행…스미토모, 韓 PR 공장 짓는다

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日 반도체 기업 또 한국행…스미토모, 韓 PR 공장 짓는다

디지털데일리 발행일 2021-09-01 16:08:04

김도현

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- 자회사 동우화인켐 사업장에 ArFi 포토레지스트 공장 설립

[디지털데일리 김도현 기자] 일본 수출규제가 사실상 무의미해졌다. 일본 반도체 업체가 재차 한국행을 결정했다.

1일 스미토모화학은 국내에 불화아르곤 이머전(ArFi) 포토레지스트(PR) 공장을 짓는다고 밝혔다. 100% 자회사 동우화인켐의 전북 익산사업장에 관련 생산라인을 구축할 방침이다.

이번 투자 규모는 1000억원이다. 신규 공장은 오는 2024년 가동 목표다.

PR은 감광제로도 불리는 반도체 노광 공정 핵심소재다. 실리콘웨이퍼에 PR을 바르고 포토마스크에 새겨진 회로대로 빛을 쬐면 패턴이 형성된다. 일본의 3대 규제 품목에 포함된 소재로 일본 기업이 장악해왔다.

PR은 크게 ▲불화크립톤(KrF·248nm) ▲불화아르곤(ArF·193nm) ▲극자외선(EUV·13.5nm)용으로 나뉜다. 이 가운데 ArF는 공기를 활용한 드라이 방식과 액체를 사용하는 이머전 방식으로 나뉜다.

스미토모화학은 그동안 PR을 일본에서만 생산했다. 공사 완료 시 처음으로 한국에서 PR을 제작하게 된다. 이를 계기로 로우엔드에 이어 하이엔드 제품까지 국내 고객사에 납품할 방침이다.

아울러 일본 오사카 공장 증설도 진행한다. ArFi PR과 EUV PR 생산시설을 마련할 계획이다.

지난 2019년 일본 정부의 수출규제 이후 현지 기업이 국내로 넘어오는 사례가 잦아진 상태다. 삼성전자 SK하이닉스 등이 소재 및 장비 내재화에 나선 데 따른 대응이다. 대형 고객사를 놓치지 않겠다는 의도다.

앞서 도쿄오카공업(TOK)도 인천에서 EUV PR을 생산하기로 했다. 향후 신에츠화학, JSR 등 다른 PR 업체도 국내 투자할 가능성이 제기된다.

이외에도 ▲글로벌 반도체 장비업체 도쿄일렉트론(TEL) ▲반도체 웨이퍼 연마 소재를 납품하는 쇼와덴코 ▲고유전재료를 생산하는 아데카 ▲질량유량 제어기기(MFC) 제공하는 호리바그룹 ▲특수가스 황화카르보닐을 만드는 간토덴카공업 ▲반도체 장치용 석용 유리 제조업체 토소 등이 국내 거점을 강화하기로 했다.

한편 국내 기업도 PR 개발에 한창이다. 동진쎄미켐은 ArF PR을 삼성전자에 공급하는 등 일부 성과를 냈다. 영창케미칼 SK머티리얼즈 삼성SDI 등도 작업에 착수했다.