韓 연구진, `日·獨 독점` 반도체 이송장비 센서 국산화

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韓 연구진, '日·獨 독점' 반도체 이송장비 센서 국산화

디지털데일리 발행일 2021-08-17 14:04:44

김도현

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- 자율주행 분야 핵심 역할

[디지털데일리 김도현 기자] 우리나라 연구진이 반도체 웨이퍼 이송시스템(OHT)에 탑재하는 2차원(2D) 라이다 센서 국산화에 성공했다.

17일 한국기계연구원은 에스오에스랩과 2D 라이다 센서를 개발했다고 밝혔다.

이 제품은 초당 수백만개 레이저 빔을 지속 발사하고 센서로 되돌아오는 시간을 바탕으로 거리를 측정해 주변 환경을 입체적으로 인식하는 부품이다. 자율주행 구현에 핵심으로 꼽힌다.

반도체분야에서는 OHT에 적용된다. OHT는 천정에 설치된 레일을 따라 공정을 이동하면서 웨이퍼를 실어 나르는 장비다. OHT 1대당 2~4개의 라이다 센서가 투입되는데 그동안 전량을 독일과 일본 등에 의존했다.

한국기계연구원 인공지능기계연구실 하창완 선임연구원 연구팀과 라이다 센서 전문기업 에스오에스랩, 수요기업 세메스가 국산 기술개발 및 사업화를 위해 협력했다. 결과적으로 국산 제품 성능을 높이고 양산 가능한 기술을 확보하는 데 성공했다.

이번 성과로 수요기업 기준 연간 4000여개 OHT용 2D 라이다 센서 수입대체 효과를 거둘 것으로 기대된다. 향후 다양한 라이다 센서 개발에 적용돼 자율주행차와 스마트 모빌리티, 스마트 인프라 구현에도 활용될 전망이다.

하 선임연구원은 “출연연·국내기업·수요기업 등이 힘을 모아 해외에 의존하던 제품을 국산화했다는 데 의미가 있다”며 “일본 수출규제 강화 등 외부 환경 변화에도 국내 반도체 생태계를 더욱 안정적으로 보호할 수 있을 것”이라고 말했다.