필옵틱스, 반도체 장비 진출…DI노광기, 연내 공급

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필옵틱스, 반도체 장비 진출…DI노광기, 연내 공급

디지털데일리 발행일 2021-04-10 07:38:05

김도현

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- DUV 노광장비 보조 역할…해외 메모리반도체 업체에 샘플 공급 예정

[디지털데일리 김도현 기자] 디스플레이·배터리 장비업체 필옵틱스가 반도체 시장에 진출한다. 일본 독점 중인 다이렉트 이미징(DI) 노광장비 개발을 완료했다.

9일 필옵틱스에 따르면 해외 메모리반도체 업체의 데모용 DI 노광기를 수주했다. 고객사 검증을 끝내고 이르면 연내 정식 제품을 납품할 예정이다.

필옵틱스는 지난 2010년부터 DI 노광기에 관심을 쏟았다. 인쇄회로기판(PCB)용 패키징 공정에 관련 제품을 국내외에 공급했다.

이번에 개발한 장비는 반도체 웨이퍼용이다. 심자외선(DUV) 노광기를 보조한다. 회로가 그려진 포토마스크가 없는 노광을 가능케 한다. 활용 시 공정 능력과 수율이 높아지는 장점이 있다.

반도체 업체 관계자는 “포토마스크 가격이 상당한 만큼 DI 노광기를 사용하면 생산라인 투자비 및 원가를 대폭 줄일 수 있다. 차세대 공정에서도 쓰일 수 있을 것”이라고 설명했다.

그동안 반도체 분야 DI 노광기는 일본 업체가 장악해왔다. 삼성전자 SK하이닉스 등도 마찬가지다. 필옵틱스가 해외 업체와 거래를 트면 국내 고객사에도 제공할 가능성이 커진다. 공급망 다변화를 통해 일본의존도를 낮출 수 있다는 의미다.

필옵틱스는 올해 조직개편을 통해 반도체사업실을 신설했다. DI 노광기 외에 웨이퍼 본딩 장비와 3차원(3D) 검사 설비 등도 개발 중이다. 반도체 관련 포트폴리오 확대가 예상된다.

필옵틱스 관계자는 “DI 노광기 본격 생산은 2023년부터 돌입할 계획이다. 2025년 반도체 사업부 매출 1000억원 목표 달성에 큰 기여를 할 것”이라고 설명했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr