차세대 메모리 ‘꿈틀’…AMK, 양산 장비 공급 ‘시동’

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차세대 메모리 ‘꿈틀’…AMK, 양산 장비 공급 ‘시동’

디지털데일리 발행일 2019-07-17 13:57:28

윤상호

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- M램·PC램·Re램 PVD 출시…연내 1억달러 매출

[디지털데일리 윤상호기자] 차세대 메모리 반도체 시장이 꿈틀댄다. 장비업체가 분위기를 띄웠다. 차세대 메모리 양산 장비 공급을 시작했다.

17일 어플라이드머티어리얼즈코리아(AMK, 대표 이상원)는 서울 강남구 그랜드 인터컨티넨탈 서울 파르나스 호텔에서 기자간담회를 열고 차세대 메모리 양산 솔루션을 공개했다.

차세대 메모리는 ▲M램 ▲PC램 ▲Re램 등을 일컫는다. ▲D램 ▲S램 ▲낸드플래시 등 기존 메모리를 대체할 것으로 기대된다. M램은 사물인터넷(IoT) 기기 소프트웨어(SW)와 인공지능(AI) 알고리즘 저장용도로 주목을 받는다. PC램과 Re램은 서버용 D램과 낸드 중심 솔리드스테이트드라이브(SSD) 사이 가성비를 채워줄 수 있는 스토리지급 메모리로 각광을 받고 있다. 하지만 차세대 메모리는 대량생산이 쉽지 않다. 비용도 문제다. PC램은 수요처가 생기고 있지만 M램과 Re램은 아직이다.

AMK 최범진 상무는 “2018년을 기점으로 기계가 생산하는 데이터가 인간이 생산하는 데이터를 넘었다. 폭발적으로 성장하는 데이터를 처리하기 위해 차세대 반도체가 필요하다”라며 “차세대 메모리에 사용하는 새로운 금속 물질을 원자층 단위 정밀도로 증착할 수 있는 장비를 출시했다. 차세대 메모리를 상업적이고 안정적으로 생산하는데 최적화했다”라고 말했다.

이날 AMK는 엔듀라 클로버 M램 PVD(Physical Vapor Deposition) 플랫폼과 엔듀라 임펄스 PVD 플랫폼을 발표했다. 각각 M램과 PC램/Re램용 장비다. 온보드계측(OBM: On-board metrology)을 적용 실시간 불량을 검출한다. 비용절감과 수율향상에 유리하다. M램 PVD는 5개 PC램 및 Re램 PVD는 8개 회사가 채용했다.

최 상무는 “M램 PVD는 업계 최초 대량 생산용 300밀리미터 M램 시스템”이라며 “OBM은 어플라이드 모든 플랫폼에 공급할 수 있다. 학습을 시킨 이후에는 OBM이 알아서 제어한다. 내년 말까지 확대 예정”이라고 전했다.

AMK 박래학 전무는 “올해 전 세계 1억달러(약 1200억원) 매출이 예상된다”라며 “한국업체에도 공급했다”라고 설명했다. 또 “아직 차세대 메모리 시장이 본격화하지 않았지만 시장이 열릴 때를 대비해 준비를 하자는 차원”이라고 덧붙였다.

<윤상호 기자>crow@ddaily.co.kr