램리서치, 반도체 공정 1년간 무중단…‘자가 유지보수 장비’ 실험 성공

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램리서치, 반도체 공정 1년간 무중단…‘자가 유지보수 장비’ 실험 성공

디지털데일리 발행일 2019-04-29 15:38:23

김도현

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[디지털데일리 김도현기자] 반도체 장비업체 램리서치가 자가 유지보수 장비로 1년 동안 생산 중단 없이 장비를 가동하는 데 성공했다고 29일 밝혔다.

램리서치에 따르면 식각 공정 모듈은 성능 유지 및 부식 부품 교체를 위해 월 혹은 주 단위로 세정된다. 이 과정에서 챔버를 열어 부품을 교체 및 세정한다. 이는 식각 시스템의 생산성을 제한하는 요소로 꼽힌다.

이에 램리서치가 유지보수를 위한 세정 작업 없이 지속 가동할 수 있는 유지보수 솔루션을 찾아낸 것이다. 해당 솔루션을 사용하면 장비가 부품 교체 시점을 인식, 챔버를 열지 않고, 자동으로 부품을 교체한다. 자연스럽게 장비 가동 정지 시간이 줄어 전체 설비 생산성을 향상시킨다.

해당 솔루션에는 램리서치의 ‘Kiyo 프로세스 모듈’, 진공 트랜스퍼가 장착된 ‘Corvus R 교체식 엣지링’, 수명이 긴 챔버 구성품, 최적화된 웨이퍼리스 자동 세정 기술이 포함됐다. 특히 자동 소모품 교체 시스템인 Corvus R은 핵심 역할을 담당한다.

바히드 바헤디 램리서치 식각 제품군 사업부장은 “이번 사례를 통해 자가 유지보수 장비를 통해 인적 개입을 줄이면서 효율을 높일 수 있음을 증명했다”고 강조했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr