어플라이드, 인라인 고해상도 전자빔 검사시스템 출시

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어플라이드, 인라인 고해상도 전자빔 검사시스템 출시

디지털데일리 발행일 2016-09-26 23:52:39

이수환

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어플라이드머티어리얼즈(www.appliedmaterials.com 지사장 강인두)는 ‘인라인(inline) 고해상도 전자빔 검사(E-Beam Review, EBR)’ 시스템을 출시한다고 26일 밝혔다. 이 시스템을 통해 유기발광다이오드(OLED) 및 초고화질 액정표시장치(UHD LCD) 업체는 수율 극대화를 달성하고 시장에 신규 디스플레이 콘셉트 생산이 가능해진다.

차세대 디스플레이는 갈수록 더 많은 공정 단계를 거친다. 이 과정에서 아주 미세한 오염물질이 자주 발생되어 새로운 형태의 결함을 발생할 수 있다. 현재 사용되고 있는 디스플레이용 인라인 자동광학결함검사장비는 중대한 결함 및 사소한 결함의 구분 그리고 체계적인 결함 원인 발견에 있어 주사전자현미경(SEM)에 비해 효과적이지 않다.

기존의 SEM 분석의 경우 유리 기판을 조각조각 쪼갠 후 개별 조각을 현미경으로 검사해야 해 비용과 시간이 많이 들뿐 아니라 전체 패널에서 결함의 위치가 어디인지 판별하기가 거의 불가능하다는 단점이 있다.

어플라이드머티리얼즈의 이번 신규EBR 시스템은 이러한 단점 없이 가장 빠르고 효과적으로 모바일 기기 및 TV 용 첨단 디스플레이의 주요 결함을 발견하고 문제를 해결할 수 있도록 돕는다.

어플라이드머티어리얼즈 디스플레이 분야 및 글로벌 서비스 담당 부사장 겸 책임자 알리 살레푸어는 “신규 EBR 시스템은 OLED와 LCD 제조 상 발생하는 주요 문제를 해결할 수 있도록 돕는다”며 “다양한 디스플레이 분야의 등장으로 새로운 폼팩터를 갖춘 차세대 디스플레이에 대한 수요가 높아지고 있으며 출시 기간을 줄일 수 있는 솔루션을 필요”고 전했다.

<이수환 기자>shulee@insightsemicon.com