저스템, ‘N2 LPM 장비’ 마이크론 테스트 성공…日·대만 HBM 성과 잇는다

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저스템, ‘N2 LPM 장비’ 마이크론 테스트 성공…日·대만 HBM 성과 잇는다

디지털데일리 발행일 2024-07-08 10:39:41

김문기 기자

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[디지털데일리 김문기 기자] 저스템(대표 임영진)은 미국 아이다호주 보이시(Boise)에 있는 마이크론 기술혁신센터에서 지난 6월말 N2 LPM(Lord Port Module) 장비평가를 성공적으로 끝마쳤다고 발표했다.

저스템이 이번에 평가받은 N2 LPM은 반도체 공정 중 웨이퍼를 보관하고 이동하는 FOUP의 내부 습도를 제어하고 불순물을 제거해 수율을 향상시키는 장비다. 이 회사에 따르면 관련 장비는 전세계 시장의 80% 이상을 점유하고 있는 것으로 추정하고 있다.

김용진 저스템 CTO(사장)는 " 2025년 이후에는 보이시공장이 주요 생산라인이 될 것이므로 현지에서 테스트를 성공적으로 마친 만큼, 향후 지속적으로 물량을 공급할 수 있을 것으로 보인다”며, “HBM 제조경쟁이 치열한 상황에서 후공정 못지 않게 수율제고를 위한 필수장비로서 N2 LPM의 역할이 더해질 것으로 본다”고 말했다.

마이크론은 아이다호주 보이시에 본사와 기술혁신센터를 두고 노는 2025년 공장가동을 목표로 생산라인을 건설 중이다. 축구장 10개규모에 해당하는 팹이기도 하다. 완공 후에는 첨단 D램과 HBM을 생산할 것으로 예상된다. 현재 공정에 적용할 각종 장비를 테스트중인 것으로 알려졌다.

저스템은 지난 2019년부터 마이크론의 글로벌 생산라인인 일본, 대만, 싱가폴 등 에 N2 LPM을 공급한 바 있다. 현재 일본과 대만 HBM라인에도 이 장비가 적용되고 있다. 이번 평가와 관련해 저스템은 향후 보이시의 새로운 라인에 적용을 위한 최종 검토차원으로 판단하고 있다.