- 2nm 반도체 2025년 전후 양산
- 나란히 3nm 공정 고도화 진행
[디지털데일리 김도현 기자] 전방산업 부진에도 반도체 수탁생산(파운드리) 업계의 기술 개발은 멈추지 않고 있다. 대만 TSMC와 삼성전자가 4~5나노미터(nm)에 이어 2~3nm 전쟁을 펼치고 있다. 앞선 경쟁에서 밀린 삼성전자로서는 이번마저 패배하면 1위 추격은 물론이고 미국 인텔, 일본 라피더스 등에 2위 자리까지 내줘야 할 위기에 처한다.
현재 삼성전자는 2025년 양산을 목표로 2nm(SF2) 공정을 개발하고 있다. 지난달 27일 삼성전자는 2023년 1분기 실적 컨퍼런스콜(컨콜)을 통해 “게이트올어라운드(GAA) 2nm 기술 경쟁력 강화 노력을 이어가 테크니컬 리더십 전통을 지킬 것”이라고 밝혔다.
GAA는 삼성전자가 세계 최초로 도입한 트랜지스터 방식이다. 트랜지스터 게이트(전류가 드나드는 문)와 채널(전류가 흐르는 길)이 닿은 면을 4개(기존 핀펫(FinFET)은 3면)로 늘린 구조다. 많이 닿을수록 전류 흐름을 세밀하게 제어할 수 있는 것이 특징이다.
아울러 삼성전자는 채널을 와이어 형태에서 긴 모양의 나노시트로 변경하기도 했다. MBC(Multi Bridge Channel)FET이라고 부르는 기술로 이를 통해 게이트와 채널이 닿는 면적을 재차 확장했다.
앞서 삼성전자는 MBCFET을 3nm 공정에 적용한 바 있다. 컨콜에서 삼성전자는 “지난해 처음으로 MBCFET이라는 GAA 아키텍처를 활용했다. 고객 만족과 기술 리더십 전통을 지속하기 위한 움직임”이라며 “3nm 프로모션을 진행 중으로 고객들을 이를 평가하고 있다. 테스트 칩을 제작하는 곳도 있다”고 전했다.
삼성전자는 3nm 2세대 공정(SF3)도 준비 중이다. 내년부터 양산 개시될 것으로 관측된다. 1세대(SF3E) 대비 수율(완성품 중 양품 비율)과 성능을 높이는 것이 관건이다. 2025년에는 3세대(SF3P)도 등장한다. 삼성전자는 3nm를 통해 GAA를 먼저 경험한 만큼 2nm에서 초기 시행착오를 최소화할 것으로 예상된다.
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