머크-마이크론, 친환경 가스 솔루션 개발

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머크-마이크론, 친환경 가스 솔루션 개발

디지털데일리 발행일 2022-08-04 14:27:11

김도현

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- 마이크론 반도체 공정 적용

[디지털데일리 김도현 기자] 독일 머크와 미국 마이크론이 반도체 산업 지속가능성 강화에 나선다.

4일 머크는 마이크론과 손잡고 반도체 생산 시 지구온난화지수(GWP)가 낮은 가스 솔루션을 개발한다고 밝혔다.

양사 협업이 1년 이상 진행 중인 가운데 대체 에칭 가스가 마이크론 생산라인에서 테스트되고 있다.

머크 카이 베크만 회장은 “지속가능성에는 협력이 필요하다. 머크와 마찬가지로 마이크론도 적극적인 지속가능성 목표를 설정했다. 마이크론 성공에 머크가 기여할 수 있어 기쁘다”고 말했다.

마이크론 존 휘트먼 부사장은 “마이크론이 새롭게 설정한 목표는 당사 글로벌 운영에 따른 배출량을 2020년 대비 2030년까지 42% 감소시키는 것”이라며 “넷제로(net-zero) 약속을 지키기 위해 다각화된 접근법을 취하고 있다. 첨단 저감 장비에 대한 투자, 지구온난화지수가 낮은 가스의 우선적 사용, 에너지 효율적인 장비 구매, 화석 연료로 생산되는 에너지 대신 재생 에너지 구입 등이 포함된다”고 설명했다.

두 회사는 건식 식각과 챔버 세정에서 사용되는 GWP 높은 다양한 에칭 가스를 대체할 신소재 관련 연구도 진행하고 있다.