인텔, 차세대 EUV 독점하자…ASML 찾아간 이재용 부회장

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인텔, 차세대 EUV 독점하자…ASML 찾아간 이재용 부회장

디지털데일리 발행일 2022-06-15 22:42:12

김도현

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- 20개월 만에 ASML 본사 재방문

[디지털데일리 김도현 기자] 이재용 삼성전자 부회장이 최첨단 반도체 장비 수급을 위해 직접 나섰다. 유럽 출장 중 핵심으로 꼽힌 ASML 방문 일정을 소화했다.

15일 삼성전자는 이 부회장이 지난 14일(현지시각) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 찾았다고 밝혔다. 지난 2020년 10월 이후 20개월 만에 재방문이다.

이번 일정에는 경계현 삼성전자 디바이스솔루션(DS) 부문장이 배석한 가운데 ASML의 피터 베닝크 최고경영자(CEO)와 마틴 반 덴 브링크 최고기술책임자(CTO) 등을 만났다.

이들은 양사 간 협력 강화 방안을 논의한 것으로 전해진다. ▲미래 반도체 기술 트렌드 ▲반도체 시장 전망 ▲차세대 반도체 생산을 위한 미세공정 구현에 필수적인 극자외선(EUV) 노광 장비 원활한 수급 방안 ▲양사 중장기 사업 방향 등에 대해 폭넓게 협의했다는 후문이다.

핵심 키워드는 EUV다. EUV는 최신 노광 기술로 관련 설비는 ASML이 독점 중이다. 최근 반도체 공정 미세화로 EUV 장비 수요가 급증했다. 다만 ASML이 단독 공급하는 만큼 생산량이 충분치 않다. 지난해 기준 40여대가 출하됐다. 대당 2000억원에 달하지만 삼성전자를 비롯해 TSMC 인텔 SK하이닉스 등이 호시탐탐 노리고 있어 확보 경쟁이 치열한 상황이다.

문제는 차세대 EUV인 ‘하이(High)NA’ 제품이다. 오는 2024년 출시 예정인 초기 물량 5대를 인텔이 제공받는 것으로 알려졌다. 삼성전자로서는 대책 마련이 불가피했다. 이 부회장이 2년도 지나지 않아 ASML 본사로 날아간 배경이다.

삼성전자 관계자는 “반도체 연구개발 및 투자 확대, ASML과의 기술 협력 강화 등을 통해 EUV를 비롯한 차세대 반도체 생산 기술을 고도화시켜 반도체 수탁생산(파운드리) 분야 경쟁력을 키우고 메모리 반도체 초격차도 더욱 확대해 나갈 계획”이라고 설명했다.

같은 날 이 부회장은 마르크 뤼터 네덜란드 총리를 만나기도 했다. 두 사람은 파운드리 역량 강화를 위한 협력 확대와 글로벌 반도체 공급망 문제 해소 방안 등에 대해 이야기를 나눈 것으로 전해진다.

이 부회장은 15일(현지시각)에는 벨기에로 이동했다. 이곳에서는 유럽 최대 규모 종합반도체 연구소인 아이멕을 찾았다. 그는 루크 반 덴 호브 아이멕 CEO를 만나 반도체 분야 최신 기술, 연구개발(R&D) 방향 등을 논의했다.

이번 현장에서 이 부회장은 최첨단 반도체 공정기술 이외에 ▲인공지능(AI) ▲생명과학 ▲미래 에너지 등 아이멕에서 진행 중인 첨단분야 연구과제에 대한 소개를 받고 연구소를 둘러봤다.