큐알티, 원자현미경 분석 서비스 지원

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큐알티, 원자현미경 분석 서비스 지원

디지털데일리 발행일 2022-06-10 17:12:53

김도현

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- 파크시스템스 장비 활용

[디지털데일리 김도현 기자] 반도체 및 전자부품 신뢰성 평가 분석 기업 큐알티가 원자현미경(AFM) 도입에 나선다.

10일 큐알티(대표 김영부)는 AFM을 활용한 표면 분석 서비스로 전자재료 공정 개선에 나선다고 밝혔다.

AFM은 시료 표면 원자와 미세한 캔틸레버(한쪽 끝이 고정되고 다른 끝은 받쳐지지 않은 상태) 팁의 원자 간 상호 작용하는 힘을 활용해 시료 형상과 물성을 나노미터(nm) 수준으로 계측 및 분석하는 장비다.

큐알티 관계자는 “반도체 등 전자재료 공정 생산 효율성을 높이기 위해서는 결함을 신속하게 파악하는 것이 관건인데 AFM은 문제가 발생한 부분 형상과 크기 깊이 등을 정밀하게 분석할 수 있어 업계의 관심이 높다”고 설명했다.

큐알티의 AFM 표면 분석 서비스는 0.05nm에 이르는 Z축 분해능(피사체를 세밀하고 뚜렷하게 쪼개서 볼 수 있는 능력)을 통해 옹스트롬(0.1nm) 단위 분석이 가능한 것이 특징이다. 분석 목적에 따라 최적화된 캔틸레버 팁을 사용하여 고종횡비 구조물 등 일반적인 방식으로 확인이 어려운 시료 표면 형상도 정밀하게 확인할 수 있다.

이를 기반으로 큐알티는 반도체 박막, 글라스 기판, 광학 렌즈, 메탈 패드 등 거칠기 분석을 진행한다. 구체적으로는 액정표시장치(LCD) 범프 구조와 같은 마이크로 스케일 형상 분석, 미세 공정이 적용된 반도체 소자의 도핑 프로필, 배터리 양극재 분석 서비스 등을 제공한다.

한편 큐알티가 사용하는 AFM은 파크시스템스의 산업용 대형 시료 측정장비 ‘NX20’다. NX20에는 완전 비접촉 모드 기능이 탑재돼 캔틸레버 팁과 시료가 서로 닿지 않아 손상을 주지 않는다.