美 어플라이드, 신규 플랫폼 ‘AIx’ 선봬

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美 어플라이드, 신규 플랫폼 ‘AIx’ 선봬

디지털데일리 발행일 2021-04-27 11:14:35

김도현

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- 전력·성능·공간비용·출시 소요기간(PPACt) 향상

[디지털데일리 김도현 기자] 미국 어플라이드머티어리얼즈(이하 어플라이드)가 반도체 신기술 개발 및 상용화를 지원하는 플랫픔을 공개했다.

27일 어플라이드는 엔지니어를 위한 플랫폼 ‘AIx(Actionable Insight Accelerator)’를 선보였다. 3년 개발 끝에 나온 결과물이다.

반도체 공정을 실시간 파악하고 웨이퍼부터 개별 칩에 이르기까지 수백만 번의 측정을 거쳐 수천 개 공정 변수를 최적화한다. 이를 통해 ‘전력·성능·공간비용·출시 소요기간(PPACt)’를 향상하는 것이 목표다.

AIx 플랫폼은 어플라이드의 모든 공정 장비, 전자빔(eBeam) 계측 시스템, 검사 시스템과 호환된다. 연구실부터 양산시설까지 확장할 수 있다.

프라부 라자 어플라이드 반도체 제품그룹 부사장 겸 총괄 매니저는 “PPACt의 시간(t)을 단축하는 일은 반도체 생태계 모든 기업에 가장 중요한 가치”라며 “AIx는 개발 시간을 절반으로 줄이고 공정 윈도우를 삼분의 일로 향상시킨다는 목표로 어플라이드의 모든 역량을 새로운 방식으로 연결한다”고 설명했다.

AIx 플랫폼은 ▲챔버 인공지능(AI) ▲온보드 계측 ▲인라인 계측 ▲디지털 트윈 ▲컴퓨팅 자원 등으로 구성된다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr