- 美 브룩스오토메이션과 경쟁…EUV 시장 성장세로 물량 증가
[디지털데일리 김도현 기자] 삼성전자가 극자외선(EUV) 라인을 확대했다. 협력사도 분주하다. EUV 라인 관련 업체 수혜가 예상된다.
30일 업계에 따르면 디바이스이엔지는 삼성전자 화성사업장 EUV 전용라인 ‘V1’ 등에 풉(FOUP:Front Open Unified Pod) 세정장비를 공급했다.
풉은 웨이퍼가 담긴 통이다. 웨이퍼는 풉에 담겨 각 공정을 이동한다. 풉 세정장비는 공정을 마친 후 풉 내부 이물을 세척하는데 쓴다. 초순수(오염 물질을 제거한 물)를 사용한다. 삼성전자는 그동안 디바이스이엔지,일본 휴글, 미국 브룩스오토메이션 등의 풉 세정장비를 사용했다. 디바이스이엔지는 작년 EUV 풉 세정장비도 납품을 시작했다.
삼성전자는 EUV를 반도체 위탁생산(파운드리)에서 D램으로 넓히고 있다. EUV 라인이 늘어나면 EUV용 풉 세정장비 필요량이 늘어난다. 브룩스오토메이션과 물량을 분배하더라도 디바이스이엔지 수혜가 기대된다.
한편 디바이스이엔지는 삼성 계열사 세메스 출신 임원들이 경영진 대다수를 차지한다. 풉 세정장비와 유기발광다이오드(OLED) 노광공정에서 쓰이는 파인메탈마스크(FMM) 오염제거장비가 주력이다. 국내외 반도체, 디스플레이 업체를 고객사로 두고 있다.
<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr
Copyright ⓒ 디지털데일리. 무단전재 및 재배포 금지
[DD퇴근길] 트럼프 주니어, 韓 찾는다…정용진 초청에 재계 총수 면담
2025-04-25 17:03:56SKT, 해킹사태 수습 ‘시험대’...“진상규명은 아직, 이용자 보호 집중”(종합)
2025-04-25 14:45:57신세계라이브쇼핑, 울릉도 관광 활성화 도모…“차별화된 여행 상품 운영”
2025-04-25 14:08:47[일문일답] SKT “진상규명 기다려달라...2중 3중 이용자 보호 집중”
2025-04-25 14:02:03[DD's톡] 'SKT, 카카오 지분 매각'에 양사 주가 희비 엇갈려
2025-04-25 11:31:10SKT, 유심보호서비스 가입 폭증…최민희 "실질적 안전대책 필요"
2025-04-25 11:14:35구글 모회사 알파벳, 1분기 '깜짝 실적'…광고 부문 성장 견인
2025-04-25 17:09:06경주 개관 미디어아트 전시관, '덱스터' 자회사가 만든다
2025-04-25 16:39:44[콘텐츠뷰] "겹사돈·전공의 미화 논란?"…정면돌파 택한 '언슬전생'
2025-04-25 16:02:21'2초 노출에 2500만원'…웹툰 플랫폼, 콘텐츠 넘어 '광고 신시장' 연다
2025-04-25 15:59:30MS, 혐한 논란에 사흘 만 공식 입장… “출시 지연에 사과”
2025-04-25 14:02:42[DD's톡] 고개 못 드는 엔씨 주가… ‘아이온2’가 구할까
2025-04-25 13:54:28