세메스-대한기계학회, 산학 우수논문 시상식 개최

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세메스-대한기계학회, 산학 우수논문 시상식 개최

디지털데일리 발행일 2020-12-21 16:24:25

김도현

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- 홍익대팀, 반도체 이물질 계측장비 기술로 ‘대상’

[디지털데일리 김도현 기자] 세메스와 대한기계학회(KSME)가 산학교류 촉진을 위한 자리를 마련했다고 21일 밝혔다. 세메스와 KSME는 ‘제5회 오픈 이노베이션 챌린지’ 행사를 열고 우수논문 시상식과 수상작 발표회를 가졌다.

코로나19 여파로 온라인 개최됐다. 해당 행사는 반도체·디스플레이 장비 공정기술 및 초정밀 센서 계측기술 등 산업현장에서 활용될 수 있는 기계공학 분야의 논문 공모전이다.

올해는 37개 연구기관으로부터 총 97편의 제안서를 접수해 우수 제안서 27편(전문가그룹 13편, 젊은 공학자그룹 14편)을 1차 선발한 뒤 최종 심사를 통해 ▲대상 1팀(상금 1000만원) ▲금상 2팀(각 500만원) ▲은상 2팀(각 300만원) ▲동상 6팀(각 100만원)을 선정했다.

대상은 반도체 웨이퍼 플라즈마 클리닝 공정에서 발생하는 이물질 계측장비 기술을 개발한 홍익대팀이 수상했다. 금상은 고려대팀의 바이오 연료전지 개발과 한양대팀의 다점법 나노 패턴웨이퍼의 스핀세정공정 전산모사가 차지했다.

세메스 강창진 대표는 “산학연 기술연계를 통해 개발된 첨단 미래기술이 반도체·디스플레이 장비산업에 접목될 경우 시너지 효과가 매우 클 것”이라고 말했다.

한편 세메스는 지난해 5년 연속 매출액 1조원을 돌파했다. 올해는 사상 최대 연매출인 2조2000억원을 달성할 전망이다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr