KLA, 웨이퍼 계측·검사 장비 신제품 2종 공개

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KLA, 웨이퍼 계측·검사 장비 신제품 2종 공개

디지털데일리 발행일 2020-12-14 15:12:16

김도현

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- 웨이퍼 구조 측정 및 결험 검사

[디지털데일리 김도현 기자] 미국 장비업체 KLA가 웨이퍼 기하 구조 계측 시스템과 웨이퍼 결함 검사 시스템 2가지 신제품을 발표했다고 14일 밝혔다.

지젠 바자에파람빌 KLA Surfscan ADE사업부 총괄책임자는 “3차원(3D) 낸드의 복잡한 다층성으로 웨이퍼 기하 구조 측정이 주목받고 있다”며 “새로운 패턴 웨이퍼 기하 구조 시스템인 PWG5는 웨이퍼 앞면과 뒷면의 평탄도 편차를 동시에 측정할 수 있는 감도를 갖고 있다. 최초의 인라인 속도와 탁월한 해상도는 선진 D램 및 로직 응용도 지원한다”고 설명했다.

반도체 업계에서는 3나노미터(nm) 공정이 개발 중인 가운데 5nm 소자의 대량 생산이 늘고 있다. 극자외선(EUV) 노광은 가장 중요한 층에 보편적으로 사용되고 있다. 소자 제조는 핀펫 또는 GAA(Gate All Around) 트랜지스터 구성과 같은 새로운 기하 구조에 의해 더욱 복잡해진다. 이를 위해 KLA는 이번 신제품을 개발했다.

바자에파람빌 총괄책임자는 “KLA 설계팀은 감도 및 결함 분류를 지원하기 위한 기술 발전뿐만 아니라 비용 개선에도 초점을 맞추었다”고 말했다. 이 장비는 웨이퍼 제조업체, 반도체 장비 제조업체 등이 활용할 예정이다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr