제우스, 반도체 세정 장비 ‘국산화’ 박차

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제우스, 반도체 세정 장비 ‘국산화’ 박차

디지털데일리 발행일 2020-09-23 16:08:38

김도현

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- 생산시설 하반기 준공…생산 법인 설립

[디지털데일리 김도현기자] 제우스가 반도체 장비 국산화에 속도를 높인다.

23일 제우스(대표 이종우)는 일본 현지 자회사 J.E.T를 통해 국내 반도체 장비 생산 법인을 설립했다고 밝혔다. 해당 법인은 기존 수입에 의존하던 배치(Batch) 타입 장비를 국내 생산할 예정이다.

배치 타입은 실리콘웨이퍼 20~50매까지 동시 세정 가능한 장비다. 그동안 전량 수입에 의존하던 제품이다.

제우스 관계자는 “신규 법인 설립으로 국산화 생산 환경을 조성한 것은 고무적인 성과”라며 “경기도 화성 통합사업장에 생산시설을 마련 중이다. 준공이 완료되는 하반기에 맞춰 모든 준비를 완료할 것”이라고 설명했다.

제우스의 반도체 장비 국산화 계획은 일본 자회사 J.E.T가 생산 중인 배치 타입 장비 제조기술을 들여오는 방식이다. 국산화가 완료되면 일본 등 외국산에 의존하던 배치 타입 장비를 국내에서 대체할 것으로 기대된다.

회사 관계자는 “회사는 싱글(Single) 타입뿐 아니라 배치 타입 장비까지 국내 생산기술을 확보했다”며 “국내외 반도체 생산 기업에 싱글 타입과 배치 타입 교차 판매를 통한 제우스의 시장 수혜도 기대된다”고 말했다.

한편 제우스는 화성사업장에 반도체 웨이퍼 테스트 공장을 준공했다. 국산 반도체 생산 장비 품질을 극대화할 수 있게 됐다. 현재 12-챔버(12-Chamber) 고온황산 장비 등 신제품 개발에도 매진하고 있다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr