SK머티리얼즈와 SK실트론도 비슷한 행보를 보인다. SK머티리얼즈는 하드마스크(SOC) 개발 에 착수한 상태다. SOC는 반도체 노광공정에 쓰이는 포토마스크 보조재료다. 지난 6월부터는 초고순도(99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다. 반도체 제조 시 실리콘 웨이퍼의 이물질을 제거하는 공정에서 쓰인다.
지난 2월에는 금호석유화학 전자소재사업을 인수, 포토레지스트 시장에 진출했다. 2021년 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만갤런 규모 양산이 목표다. 우선 불화아르곤(ArF) 제품을 공급한 뒤, 극자외선(EUV) 포토레지스트 개발도 진행할 방침이다.
SK실트론은 실리콘웨이퍼를 양산하고 있다. 지난 2월에는 미국 듀폰의 실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼 사업부 인수를 마무리, 자체 운영에 돌입했다. SiC 웨이퍼는 실리콘과 탄소를 높은 온도로 가열해 제조한 인공 화합물인 탄화규소로 제작한다. 기존 실리콘 웨이퍼보다 전력 변환 손실이 10분 1 수준이다.
반도체 업계 관계자는 “SK그룹이 생산하거나 준비 중인 소재들은 대부분 일본의존도가 높다. SK 계열사의 분전은 SK하이닉스는 물론 국내 반도체 업계에도 긍정적인 소식을 될 것”이라고 말했다.
<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr
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