반도체 노광라인이 환해진다…지엘비텍, 전용 백색 LED 양산

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반도체 노광라인이 환해진다…지엘비텍, 전용 백색 LED 양산

디지털데일리 발행일 2020-03-19 19:02:44

김도현

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- 노광실 전용 백색 LED 패키지 세계 최초 개발 및 양산

[디지털데일리 김도현기자] 산업용 발광다이오드(LED) 전문업체 지엘비텍이 반도체 노광공정 생산라인을 백색조명을 적용한다. 작업자의 피로도 해소 및 제품 품질향상이 기대된다.

19일 지엘비텍은 노광실 전용 백색 LED 패키지를 세계 최초 개발 및 양산한다고 밝혔다. 노광 공정은 웨이퍼에 회로 패턴을 새기는 작업이다.

그동안 반도체, 유기발광다이오드(OLED), 인쇄회로기판(PCB) 등의 미세회로패턴을 만드는 노광공정 생산라인은 노란색, 주황색의 유색조명으로 구성됐다. 제한된 파장 이외의 빛이 노출되면 패턴결함이 발생되는 탓이다.

하지만 유색조명은 현장작업자의 피로도 증가, 시인성 부족 및 색상구분 어려움 등의 문제가 있다. 이는 품질 저하로 이어진다.

이번에 지엘비텍이 양산한 백색 LED 패키지는 노광실의 조명환경을 개선할 수 있다. 백색조명은 피로도 및 소비전력 감소 등의 이점이 있다. 지엘비텍은 해당 제품의 국내 특허등록을 완료했다. 일본, 대만, 중국 등에서도 특허를 출원, 해외 특허를 확보할 계획이다.

LG디스플레이는 지엘비텍과 2년 동안 10차례 이상의 테스트를 끝내고, OLED 생산라인에 백색 LED 초도 제품을 설치했다. 포토레지스트 점유율 1위 일본 업체에도 납품이 확정, 2분기부터 생산라인에 적용될 예정이다.

지엘비텍 관계자는 “반도체 관련 노광실 근로자들의 조명 관련 근무환경개선 요구는 계속 있었다”며 “이번 제품 개발로 여러 업체의 공급 문의가 이어지고 있다. 한국, 일본 등 35여개의 기업에서 제품 채택을 검토 중”이라고 강조했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr