예스티, 고압 어닐링 장비 국책과제 참여

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예스티, 고압 어닐링 장비 국책과제 참여

디지털데일리 발행일 2023-04-28 16:47:57

김도현

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- 단독 선정

[디지털데일리 김도현 기자] 반도체 설비업체 예스티가 고압 어닐링 장비 사업에 속도를 낸다. 경쟁사와 경합을 이겨내고 국책과제에 참여하게 됐다.

28일 예스티는 산업통상자원부가 주관하는 ‘차세대 지능형반도체 기술개발 사업’에 선정돼 반도체 구조결함 개선용 중수소 고압 어닐링 장비 개발을 진행한다고 발표했다.

해당 프로젝트는 정부가 총 30개 사업에 286억원을 투입하는 연구개발(R&D) 사업이다. 예스티는 70억원 지원 사업 주체로 단독 선정됐다.

어닐링은 고압 수소·중수소를 통해 반도체 표면 결함을 제거해 고유전율(High-K) 절연막을 사용하는 반도체 소자 계면 특성을 개선하는 기술이다. 기존 어닐링은 낮은 압력에서 진행돼 이로 인한 수소 침투율 한계로 계면 결함 개선 효과가 저하되는 문제가 있었다. 이에 고압으로 관련 이슈를 최소화하려는 추세다.

예스티는 고압 어닐링 장비 알파 테스트를 완료하고 공정평가를 위한 베타 테스트를 준비 중이다. 이번 국책과제를 통해 생산성 및 공정 성능 측면에서 더욱 고도화된 고압 어닐링 장비를 선제 개발할 계획이다.

기존 개발 중인 예스티의 고압 어닐링 장비는 150~900℃ 사이 온도와 1~30기압까지의 공정 적용이 가능하다. 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 예스티의 목표는 개발 중인 베타기 대비 약 50% 증가한 웨이퍼 처리량과 공정 확대성이다.

예스티는 차세대 고압 어닐링 장비에도 자체 챔버 기술을 적용할 예정이다. 경쟁사가 판매 중인 고압 어닐링 장비는 수입 제품이 적용돼 가격 및 관리 측면에서 고객 부담이 큰 것으로 전해진다. 예스티 제품은 가격 경쟁력 향상, 세정 및 장비 셋업 시간 등 단축 등에서 높은 평가를 받았다는 후문이다.

예스티 관계자는 “생산성 및 공정 성능이 향상된 차세대 고압 어닐링 장비에 대한 수요 증가가 예상된다. 정부에서 이를 해결하고자 국책과제를 시행하게 됐다”며 “자체 개발 중인 고압 어닐링 장비가 경쟁사 대비 생산성이 뛰어나면서도 가격 경쟁력까지 확보했다는 점에서 점수를 얻어 차세대 고압 어닐링 장비를 개발하는 과제에 선정됐다”고 말했다.