삼성전자, ASML에 7.79억유로 투자… 지분 3% 확보, EUV 장비 공동 개발

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삼성전자, ASML에 7.79억유로 투자… 지분 3% 확보, EUV 장비 공동 개발

디지털데일리 발행일 2012-08-27 15:50:53

한주엽 기자

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[디지털데일리 한주엽기자] 삼성전자가 네덜란드 반도체 장비 업체인 ASML홀딩스에 총 7억7900만유로(1조1050억원)를 투자키로 했다.

27일 삼성전자는 ASML홀딩스에 5억300만유로(7146억4335만원)를 투자, 지분 3%(1259만5575주)를 인수할 계획이라고 공시했다.

삼성전자는 지분 인수와는 별도로 차세대 극자외선(EUV) 노광 장비의 연구개발(R&D)를 위해 2억7600만유로(3915억원)를 향후 5년에 걸쳐 ASML에 지원할 예정이라고 밝혔다.

삼성전자는 “장기적인 협력관계 강화를 위해 이 같은 결정을 내렸다”고 설명했다.

ASML은 10나노급 초미세회로를 그릴 수 있는 EUV 노광 기술을 독점하고 있는 업체로 세계 반도체 노광 장비 시장에서 80%의 점유율을 갖고 있다. 이 회사는 자사 지분 25%를 걸고 인텔과 삼성전자, TSMC에 300mm EUV 및 450mm에 대응하는 노광 장비의 공동 R&D을 제의한 바 있다.

삼성전자에 앞서 인텔과 TSMC는 각각 ASML의 지분 15%, 5%를 인수하고 추가 R&D 비용까지 합쳐 조 단위의 투자를 단행키로 결정한 바 있다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr