인텔 이어 TSMC도 ASML에 투자… 삼성전자는 “검토 중”

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인텔 이어 TSMC도 ASML에 투자… 삼성전자는 “검토 중”

디지털데일리 발행일 2012-08-06 14:50:08

한주엽 기자

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[디지털데일리 한주엽기자] 인텔로부터 총 41억달러 규모의 투자를 유치한 세계 1위 반도체 리소그래피(노광) 장비업체인 ASML이 TSMC에게도 투자를 받았다.

5일(현지시각) 블룸버그통신은 대만 파운드리 업체인 TSMC가 ASML에 11억1000만유로(14억달러)를 투자키로 했다고 보도했다.

ASML은 10나노급 반도체 미세회로 패턴 형성에 필수적인 극자외선(EUV) 노광 기술을 가진 업체다.

TSMC는 ASML에 8억3800만유로를 투자해 지분 5%를 획득하는 한편 EUV 노광 및 450mm 웨이퍼용 노광 장비에 관한 공동 연구개발(R&D)을 위해 추가로 2억7600만유로를 투자키로 했다.

앞서 세계 최대 반도체 업체인 인텔은 ASML 지분 15% 인수 및 공동 R&D를 위해 총 31억달러를 투입키로 했다고 밝힌 바 있다.

에릭 모리스 ASML의 최고경영자(CEO)는 “이번 투자 프로그램은 공동으로 핵심 노광 기술을 확보하는 것”이라며 “이 기술은 반도체 산업계에 큰 혜택으로 돌아올 것”이라고 밝혔다.

파이낸셜타임스(FT)에 따르면 ASML은 자사 지분 25%를 놓고 인텔과 삼성전자, TSMC 3개사에 차세대 EUV 및 450mm 웨이퍼용 노광 장비에 관한 공동 개발 및 투자를 제안한 바 있다.

삼성전자는 지난 27일 열린 2분기 컨퍼런스 콜에서 “ASML 지분 투자와 관련해 내부적으로 검토하고 있지만 아직 결정된 사항은 없다”고 밝혔다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr