큐알티, 반도체 비파괴 분석 서비스 강화

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큐알티, 반도체 비파괴 분석 서비스 강화

디지털데일리 발행일 2022-06-02 13:15:02

김도현

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- 경기 광교 오픈랩 운영

[디지털데일리 김도현 기자] 반도체 및 전자부품 신뢰성 평가업체 큐알티가 3차원(3D) 컴퓨터단층촬영(CT) 고도화에 나선다.

2일 큐알티(대표 김영부)는 3D CT 검사 솔루션을 강화해 반도체 비파괴 분석 서비스를 확장한다고 밝혔다.

3D CT는 반도체를 360도 회전해 촬영한 수천 장의 X선(X-ray) 사진을 모아 3D 입체영상 및 이미지로 구현한 비파괴 방식 불량검사장비다. 원하는 축을 기준으로 다양한 각도와 깊이에서 제품 내부 데이터를 확보 가능하다. 이를 통해 반도체 소자 및 내부 구조, 결함, 수치적 정보에 대한 정밀 분석 서비스를 제공할 수 있는 것이 특징이다.

큐알티의 3D CT 솔루션은 X선 튜브를 듀얼로 사용할 수 있는데 마이크로 튜브는 최대 240킬로볼트(kV)까지, 나노 튜브는 최대 180kV까지 파워를 인가해 투과력이 뛰어나다. X선 초점 크기가 작아 배터리셀 내 전극에 대한 불량 분석도 할 수 있다. 큐알티는 물리 분석 수행 전 3D CT 장비로 불량 위치를 확인하고 해당 과정에서 발생하는 인공결함을 최소화했다.

현재 큐알티는 제품 개발자가 3D CT 분석 작업 과정을 직접 확인할 수 있도록 경기 광교에 오픈랩을 운영하고 있다.

김종관 큐알티 종합분석 사업부문장은 “2D 엑스레이는 제품을 평면적으로만 파악할 수 있다는 한계가 있었지만 3D CT는 고집적, 고정밀 반도체 내부 공간까지도 파괴 없이 정밀하게 측정할 수 있어 활용도가 높다”고 말했다.