ASML, 대만 TSMC에 신형 EUV 노광장비 NXE:3350B 2대 공급

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ASML, 대만 TSMC에 신형 EUV 노광장비 NXE:3350B 2대 공급

디지털데일리 발행일 2014-11-25 13:44:37

한주엽

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[디지털데일리 한주엽기자] 세계 2위 반도체 장비 업체인 네덜란드 ASML이 대만 반도체 위탁생산(파운드리) 업체인 TSMC에 2대의 극자외선(Extreme Ultra Violet, EUV) 노광장비(모델명 NXE:3350B)를 공급한다고 25일 밝혔다.

ASML은 24일(현지시각) 영국 런던에서 진행된 투자자의 날 행사에서 이 같은 수주 사실을 공개했다. 해당 장비는 내년 중 TSMC 라인에 설치돼 반도체 양산에 사용될 예정이다. 기존 설치돼 있던 EUV 장비인 NXE:3300B 2대도 NXE:3350B 성능으로 업그레이드 할 예정이다.

ASML은 이날 행사에서 2020년까지 100억유로 규모의 순 매출과 3배의 주당순이익을 달성하겠다는 중장기 비전도 발표했다. 회사는 반도체 업계가 성능과 크기, 전력효율이 높은 트랜지스터를 개발하기 위해 자사 노광기술이 지속적으로 활용될 것이라고 설명했다.

ASML은 2016년부터 EUV 장비의 비용 대비 효과가 개선돼 반도체 생산과정이 간결해지고 칩 사이즈가 줄어들 것이라고 예상했다 .이를 통해 이를 통해 모든 타입의 반도체 생산에 적용할 수 있을 것이라고 내다봤다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr