SEMI, 반도체 장비 모니터링 SW EDA국제 표준 한글본 발간

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SEMI, 반도체 장비 모니터링 SW EDA국제 표준 한글본 발간

디지털데일리 발행일 2014-08-11 14:10:10

한주엽

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[디지털데일리 한주엽기자] 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 한국반도체산업협회(KSIA)와 공동으로 SEMI EDA(Equipment Data Acquisition) 표준 4개의 한글본을 발간했다고 11일 밝혔다.

SEMI EDA는 2005년 만들어진 소프트웨어 표준으로 반도체 장비의 작동 데이터를 수집할 때 활용된다. 모니터링이 주 목적이므로 1982년 반도체 장비를 제어할 목적으로 만들어진 데이터 송수신 프로토콜인 SECS/GEM(SEMI Equipment Communication Standards/ Generic Equipment Message) 대비 데이터 수집량이 많고 속도가 빠르다.

최근 반도체 제조 공정이 미세화되고 있는데다 대구경화가 진행되고 있어 장비 데이터 수집에 관한 요구가 많아지고 있다. 이 때문에 SECS/GEM과 더불어 EDA를 적용하겠다는 업체들도 늘어나고 있는 추세다. 이미 해외 파운드리 등은 EDA를 적용하고 있다.

이번에 한글본으로 발간된 EDA 표준 목록은 ▲E120 –0414 Comment Equipment Model 사양(CEM) ▲E125 – 0414 Equipment Self-Description 사양(EqSD), ▲E132 – 0414 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양 ▲E134 – 0414 데이터 수집 관리 사양이다. 김형수 SEMI 한국 정보제어 표준 기술위원장은 “EDA가 SECS/GEM 만큼 보편적이진 않지만 대용량 데이터 활용에 대한 요구가 커지면서 최근 주목받고 있다”라고 말했다.

<한주엽 기자>powerusr@ddaily.co.kr