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"규제 허점 파고들어 340대 비축"…중국 반도체, DUV 싹쓸이에 미국 반발

디지털데일리 발행일 2026-10-04 09:16:57
김문기 기자

[반도체레이다] 중국 파운드리, 액침 DUV 343대 확보…2035년 AI 칩 4억개 생산 기반 구축

중국 베이징 톈안먼 광장 [사진=신화 연합뉴스]

[디지털데일리 김문기기자] 중국 반도체 제조사들이 미국의 수출 통제망을 뚫고 최근 수년간 340대 이상의 네덜란드 ASML 심자외선(DUV) 액침 노광장비를 대거 사들여 비축한 것으로 나타났다.

2일(현지시간) 사우스차이나모닝포스트(SCMP) 등 복수 외신에 따르면 미국 워싱턴 싱크탱크인 기술국정운영센터(CTS)가 발간한 최신 보고서를 인용해 중국계 반도체 제조 공장(팹)들이 2026년 초까지 총 343대의 액침 심자외선(DUV) 노광 시스템을 확보했다고 전했다.

이번 보고서는 전직 미국 수출통제 관리인 니컬러스 브라운(Nicholas Brown)과 전 백악관 및 상무부 기술정책 고문인 사이프 칸(Saif Khan)이 공동 집필했다.

중국 기업들이 확보한 343대의 장비 중 약 270대는 네덜란드 에이에스엠엘(ASML)의 '트윈스캔 NXT:1980i(Twinscan NXT:1980i)' 모델인 것으로 파악됐다. 중국 파운드리는 극자외선(EUV) 장비 수입이 차단되자 규제 대상에서 제외됐던 심자외선 액침 노광 장비로 눈을 돌려 집중 매입했다. 중국 팹들은 NXT:1980i 장비를 2024년에 약 90대, 2025년에 89대 확보하는 데만 130억달러(약 17조9400억원) 이상을 투입했다. 이로 인해 ASML의 전체 출하 순매출 중 중국 비중은 2024년 41%, 2025년 33%에 달했다.

해당 장비는 다중 패터닝 공정을 거칠 경우 7나노미터(nm)급 로직 칩은 물론 화웨이의 어센드(Ascend) 시리즈 등 인공지능(AI) 프로세서용 첨단 메모리 제조에도 전용될 수 있다. 네덜란드 정부는 2023년 9월 고성능인 NXT:2000i 이상 모델에 대해 선적을 금지했고, 2024년 9월 NXT:1980i까지 허가제를 확대했으나 건별 심사 허용이라는 허점을 남겼다. 미국 의회는 중국 내 장비 판매와 유지보수를 포괄적으로 차단하는 '매치 법안' 처리를 촉구하는 등 전면 금수 압박을 높이고 있다.

보고서에 따르면 중국이 다른 공정 병목을 극복하고 연간 약 90대의 NXT:1980i 장비를 계속 도입할 경우, 보유한 DUV 설비를 기반으로 오는 2035년까지 엔비디아 H100에 상응하는 AI 반도체를 연간 최대 4억3400만개 생산할 수 있는 능력을 갖추게 된다.

반면 2027년에 신규 장비 수입이 완전히 중단되더라도 기존에 비축한 설비만으로 연간 최대 1억5300만개의 AI 가속기를 양산할 수 있는 잠재력을 확보한 것으로 분석됐다.

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