LGD, 공정 개선 연구 지원 결과 네이처 최신호 게재

윤상호 기자 2020.02.13 13:27:41

- 연세대 연구팀, 초미세 패턴 구현 포토마스크 기술 개발

[디지털데일리 윤상호기자] LG디스플레이가 차세대 디스플레이 공정 개발에 한 발 더 다가갔다.

LG디스플레이는 LG디스플레이가 지원한 연구 결과가 과학저널 ‘네이처 커뮤니케이션즈’ 최신호에 게재됐다고 13일 밝혔다.

연세대 심우영 교수팀의 포토리소그래피 개발에 관한 연구다. 포토리소그래피는 감광액(포토레지스트)을 웨이퍼 또는 글라스에 바른 후 설계 폐턴을 그린 마스크를 올려 놓고 빛을 쬐어 회로를 형성하는 기술이다. 회로패턴 형상은 포토마스크가 결정한다. 연구팀은 새로운 포토마스크를 이용해 기존에는 불가능했던 초미세 패턴을 구현했다. 노광장비는 기존 장비를 이용할 수 있다.

LG디스플레이는 “해당 기술은 액정표시장치(LCD)뿐 아니라 유기발광다이오드(OLED, 올레드)에도 적용 가능하다”라며 “다양한 형태 디스플레이 생산에 기여할 가능성이 기대된다”라고 설명했다.

연세대 심우영 교수는 “이 연구는 빛의 회절한계를 극복할 수 있는 포토리소그래피 공정을 개발했다는 점에 의의가 있으며 평면뿐만 아니라 곡면 기판에도 적용이 가능해 향후 다양한 형태의 소자 공정에 적용할 수 있을 것으로 기대된다”라고 전했다.

한편 LG디스플레이는 지난 2015년부터 ‘LG디스플레이-연세대 인큐베이션 프로그램’을 운영하고 있다. 이번 연구는 개발기간 3년 총 25명의 연구원이 참여했다. 한국연구재단 미래소재디스커버리 연구사업, 선도연구센터 연구사업 및 기초과학연구원 지원도 함께 이뤄졌다.

<윤상호 기자>crow@ddaily.co.kr